SOI膜厚5nmの(100)面極薄nMOSFETにおける移動度ユニバーサリティ (集積回路)

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SOI膜厚5nmの(100)面極薄nMOSFETにおける移動度ユニバーサリティ

(集積回路)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
8896257
資料種別
記事
著者
清水 健ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2007-08
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 107(195) 2007.8.23・24
掲載ページ
p.107~111
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
清水 健
平本 俊郎
シリーズタイトル
並列タイトル等
Experimental study on mobility universality in (100) ultra thin body nMOSFET with SOI thickness of 5nm
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
107(195) 2007.8.23・24
掲載巻
107
掲載号
195