固体錫ターゲットを用いたCO2レーザープラズマEUV光源のデブリ特性
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 植野 能史Georg Soumagne住谷 明 他
- 並列タイトル等
- Characteristics of debris from a CO2 laser-produced plasma using a solid tin target for development of extreme ultraviolet source
- タイトル（掲載誌）
- レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 35(7) 2007.7
- 掲載巻
- 35
- 掲載号
- 7
- 掲載ページ
- 457～461