吸引キャビテーション援用砥粒加工を用いたマイクロパターニング (特集 研磨装置の進展と今後の展開)

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吸引キャビテーション援用砥粒加工を用いたマイクロパターニング

(特集 研磨装置の進展と今後の展開)

国立国会図書館請求記号
Z16-1147
国立国会図書館書誌ID
9396756
資料種別
記事
著者
大橋 一仁ほか
出版者
東京 : 砥粒加工学会
出版年
2008-03
資料形態
掲載誌名
Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 52(3) (通号 307) 2008.3
掲載ページ
p.158~163
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
大橋 一仁
王 栄軍
松岡 紘一 他
並列タイトル等
Micro patterning using cavitation-aided abrasive machining in suction flow
タイトル(掲載誌)
Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
巻号年月日等(掲載誌)
52(3) (通号 307) 2008.3
掲載巻
52
掲載号
3