Atmospheric pressure plasma ashing for display manufacturing (Special issue: Dry process)

記事を表すアイコン

Atmospheric pressure plasma ashing for display manufacturing(Special issue: Dry process)

国立国会図書館請求記号
Z53-A375
国立国会図書館書誌ID
9622315
資料種別
記事
著者
Chang Heon Yiほか
出版者
Tokyo : The Japan Society of Applied Physics
出版年
2008-08
資料形態
デジタル
掲載誌名
Japanese journal of applied physics : JJAP 47(8) (3) 2008.8
掲載ページ
p.6965~6969
すべて見る

全国の図書館の所蔵

国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。

所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください

その他

  • CiNii Research

    検索サービス
    デジタル
    連携先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。

書誌情報

この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。

デジタル

資料種別
記事
著者・編者
Chang Heon Yi
Tae Whan Kim
Keun-Ho Kim 他
シリーズタイトル
タイトル(掲載誌)
Japanese journal of applied physics : JJAP
巻号年月日等(掲載誌)
47(8) (3) 2008.8
掲載巻
47
掲載号
8
その他巻次
3