スパッタリング
type: Concept
modified: 2025-10-10T13:37:46
created: 2009-04-03
pref label: スパッタリング
  transcription: スパッタリング
  transcription: Supattaringu
alt label: スパッタ
alt label: スパッタリング技術
  transcription: スパッタリングギジュツ
  transcription: Supattaringugijutsu
alt label: スパッタリング法
  transcription: スパッタリングホウ
  transcription: Supattaringuho
alt label: スパッタ技術
  transcription: スパッタギジュツ
  transcription: Supattagijutsu
alt label: Sputtering (Physics)
source: スパッタ実務「Q&A集」 / 藤本登 企画編集
source: エレクトロニクス用語事典 改訂4版
in scheme: topicalTerms
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broader: 衝突 (原子物理学)
related: 表面 (工学)
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