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プロセスインテグレーション (半導体デバイスシリーズ ; 3)

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プロセスインテグレーション

(半導体デバイスシリーズ ; 3)

国立国会図書館請求記号
ND386-J110
国立国会図書館書誌ID
000010997019
資料種別
図書
著者
谷口研二, 鳥海明, 財満鎭明 編著ほか
出版者
丸善
出版年
2010.9
資料形態
ページ数・大きさ等
295p ; 21cm
NDC
549.7
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資料に関する注記

一般注記:

シリーズの編者: 權田俊一, 谷口研二

資料詳細

要約等:

半導体プロセス技術の最適な組合せを見出す(提供元: 出版情報登録センター(JPRO))

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
978-4-621-08284-3
タイトルよみ
プロセス インテグレーション
著者・編者
谷口研二, 鳥海明, 財満鎭明 編著
大場隆之, 河崎尚夫, 綱島祥隆 著
著者標目
谷口, 研二, 1948- タニクチ, ケンジ, 1948- ( 00176969 )典拠
鳥海, 明 トリウミ, アキラ ( 01210827 )典拠
財満, 鎭明 ザイマ, シゲアキ ( 01210828 )典拠
大場, 隆之 オオバ, タカユキ ( 01211151 )典拠
河崎, 尚夫 カワサキ, ヒサオ ( 01211153 )典拠
綱島, 祥隆 ツナシマ, ヨシタカ ( 01211156 )典拠
権田, 俊一, 1936- ゴンダ, シュンイチ, 1936- ( 00138910 )典拠
出版事項
出版年月日等
2010.9
出版年(W3CDTF)
2010