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雑誌電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
巻号111(291):2011.11.17･18
記事サファイア基板上への...

サファイア基板上へのAlNのMOVPE成長における中間層制御 (電子部品・材料)

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サファイア基板上へのAlNのMOVPE成長における中間層制御

(電子部品・材料)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
023342895
資料種別
記事
著者
宮川 鈴衣奈ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2011-11
資料形態
紙
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 111(291):2011.11.17・18
掲載ページ
p.5-10
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書誌情報

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紙

資料種別
記事
タイトル
サファイア基板上へのAlNのMOVPE成長における中間層制御
著者・編者
宮川 鈴衣奈
楊 士波
三宅 秀人 他
シリーズタイトル
電子部品・材料
著者標目
宮川 鈴衣奈
楊 士波
三宅 秀人
並列タイトル等
Control of interlayer on MOVPE growth of AlN on sapphire substrate
タイトル（掲載誌）
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等（掲載誌）
111(291):2011.11.17・18
掲載巻
111
掲載号
291