全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 細田 誠也張 科寅金子 亮太郎 他
- 並列タイトル等
- Sputtering Characteristic of BN in Multilayer Coating Method
- タイトル（掲載誌）
- プラズマ応用科学 = Applied plasma science : journal of IAPS
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 19(2):2011.12
- 掲載巻
- 19
- 掲載号
- 2
- 掲載ページ
- 151-154