研磨パッド表面性状の定量評価手法の開発 : 研磨レートに及ぼすパッド表面性状の影響
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 畝田 道雄前田 有樹澁谷 和孝 他
- 並列タイトル等
- Development of system for evaluation of polishing pad surface asperity : Effects of pad surface asperity on removal rate
- タイトル（掲載誌）
- Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 57(6)=370:2013.6
- 掲載巻
- 57
- 掲載号
- 6
- 掲載通号
- 370