MOVPE法によるGaN及びAlGaNへのCドーピングに関する研究 (電子デバイス)

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MOVPE法によるGaN及びAlGaNへのCドーピングに関する研究

(電子デバイス)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
025087191
資料種別
記事
著者
若杉 侑矢ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2013-11
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 113(329):2013.11.28・29
掲載ページ
p.47-50
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
若杉 侑矢
本田 善央
天野 浩
シリーズタイトル
並列タイトル等
Study on C doping in GaN and AlGaN by MOVPE
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
113(329):2013.11.28・29
掲載巻
113
掲載号
329