デスクトップ型DRIE装置を用いたチタニウム微細加工
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 山田 周史人母 岳寒川 雅之 他
- 並列タイトル等
- Micromachining of Titanium using a Desktop DRIE
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 134(4):2014.4
- 掲載巻
- 134
- 掲載号
- 4
- 掲載ページ
- 96-99