超精密加工後の半導体表面の原子構造観察 (特集 超精密加工・成膜分野における表面の科学)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 有馬 健太
- シリーズタイトル
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Atomic-scale Observations of Semiconductor Surfaces after Ultra-Precision Machining
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 80(5)=953:2014.5
- 掲載巻
- 80
- 掲載号
- 5