RFプラズマCVD法による窒化ホウ素膜の堆積
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 稲尾 拓朗熊懐 正彦佐藤 孝紀 他
- 並列タイトル等
- Deposition of Boron Nitride Films using RF Plasma CVD Method
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 134(6):2014.6
- 掲載巻
- 134
- 掲載号
- 6
- 掲載ページ
- 397-401