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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 高谷 裕浩道畑 正岐林 照剛
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Polishing Performance and Mechanism for Copper Surface CMP Using Water-Soluble Fullerenol
- タイトル（掲載誌）
- トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 59(12):2014
- 掲載巻
- 59
- 掲載号
- 12