熱電子励起低圧柱状プ...

熱電子励起低圧柱状プラズマ下の基板上シースに於いて成長する炭素粒子の温度と相状態

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熱電子励起低圧柱状プラズマ下の基板上シースに於いて成長する炭素粒子の温度と相状態

国立国会図書館請求記号
Z74-F747
国立国会図書館書誌ID
026569492
資料種別
記事
著者
長井 達三ほか
出版者
北九州 : 九州共立大学総合研究所
出版年
2015-03
資料形態
掲載誌名
九州共立大学総合研究所紀要 = Journal of Kyushu Kyoritsu University Research Center (8):2015.3
掲載ページ
p.69-75
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
長井 達三
内藤 正路
生地 文也
並列タイトル等
Temperature and Phase of Carbon Particles growing in the Sheath near Substrate Surface generated by a Low Pressure Hot-Cathode Columnar Plasma
タイトル(掲載誌)
九州共立大学総合研究所紀要 = Journal of Kyushu Kyoritsu University Research Center
巻号年月日等(掲載誌)
(8):2015.3
掲載号
8
掲載ページ
69-75
掲載年月日(W3CDTF)
2015-03