硫酸/過酸化水素水溶液による銅のエッチングに対する添加剤の効果
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 関下 明日香木村 萌高谷 夏実 他
- 並列タイトル著者・編者
- Hydrogen Peroxide Solution
- 並列タイトル等
- Additive Effects on the Etching of Copper using Sulfuric Acid
- タイトル（掲載誌）
- 表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 67(1):2016.1
- 掲載巻
- 67
- 掲載号
- 1