触媒反応支援CVD法による非極性ZnO結晶膜の成長 (電子部品・材料 ; 材料・デバイス サマーミーティング)

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触媒反応支援CVD法による非極性ZnO結晶膜の成長

(電子部品・材料 ; 材料・デバイス サマーミーティング)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
027485406
資料種別
記事
著者
田島 諒一ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2016-06-17
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 116(100):2016.6.17
掲載ページ
p.13-17
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
田島 諒一
池田 宗謙
叶内 慎吾
大石 耕一郎
片桐 裕則
玉山 泰宏
安井 寛治
並列タイトル等
Non-polar ZnO film growth on r-plane sapphire substrate using high-temperature H₂O generated by a catalytic reaction
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
116(100):2016.6.17
掲載巻
116
掲載号
100