平行デュアルレーザビーム法によるシリコンウェーハのバルクキャリア寿命評価技術 (電子デバイス 半導体電力変換合同研究会 パワーデバイス・パワーエレクトロニクスとその実装技術)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 金田 寛大村 一郎
- 並列タイトル等
- Dual laser beam technique to evaluate bulk lifetime of free carriers in silicon wafers
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会研究会資料. EDD = The papers of technical meeting on electron devices, IEE Japan / 電子デバイス研究会 [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 2016(63-77):2016.11.15
- 掲載巻
- 2016
- 掲載号
- 63-77