高フルエンスEUV光...

高フルエンスEUV光による材料表面改質 (短波長量子ビーム発生と応用)

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高フルエンスEUV光による材料表面改質

(短波長量子ビーム発生と応用)

国立国会図書館請求記号
Z43-2435
国立国会図書館書誌ID
027836787
資料種別
記事
著者
田中 のぞみほか
出版者
[吹田] : レーザー学会研究委員会
出版年
2016-12
資料形態
掲載誌名
レーザー学会研究会報告 = Reports the on topical meeting of the Laser Society of Japan RTM16(70-74):2016.12.15・16
掲載ページ
p.1-5
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
田中 のぞみ
安田 清和
出口 亮
和田 直
余語 覚文
西 博明
並列タイトル等
Modification of surface morphology by high-fluence extreme ultraviolet light
タイトル(掲載誌)
レーザー学会研究会報告 = Reports the on topical meeting of the Laser Society of Japan
巻号年月日等(掲載誌)
RTM16(70-74):2016.12.15・16
掲載巻
RTM16
掲載号
70-74