RC発振器型高感度容量検出回路 (第8回 集積化MEMSシンポジウム)

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RC発振器型高感度容量検出回路

(第8回 集積化MEMSシンポジウム)

国立国会図書館請求記号
YH247-299
国立国会図書館書誌ID
028284202
資料種別
記事
著者
高安 基大ほか
出版者
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
出版年
2016-10
資料形態
記録メディア
掲載誌名
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33:2016.10.2-26
掲載ページ
p.1-4
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書誌情報

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記録メディア

資料種別
記事
著者・編者
高安 基大
道正 志郎
伊藤 浩之
石原 昇
山根 大輔
益 一哉
小西 敏文
町田 克之
並列タイトル等
A High-Resolution Capacitive Sensor Circuit using RC Oscillator
タイトル(掲載誌)
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
巻号年月日等(掲載誌)
33:2016.10.2-26
掲載巻
33
掲載ページ
1-4