国立国会図書館サーチ(NDL SEARCH)
検索を開く
メニューを開く
検索
ヘルプ
ログイン
ヘルプ
ログイン
雑誌
電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
巻号
117(331):2017.11.30・12.1
記事
スパッタ法AlN基板...
スパッタ法AlN基板へのMOVPE法によるホモ成長 (電子デバイス)
記事を表すアイコン
スパッタ法AlN基板へのMOVPE法によるホモ成長
(電子デバイス)
国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
028699837
資料種別
記事
著者
吉澤 涼ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2017
資料形態
紙
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 117(331):2017.11.30・12.1
掲載ページ
p.83-86
すべて見る
書誌情報
この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。
書誌情報を出力
紙
資料種別
記事
タイトル
スパッタ法AlN基板へのMOVPE法によるホモ成長
著者・編者
吉澤 涼
林 侑介
三宅 秀人
平松 和政
シリーズタイトル
電子デバイス
著者標目
吉澤 涼
林 侑介
三宅 秀人
平松 和政
並列タイトル等
Homoepitaxial growth on sputtered AlN templates by MOVPE
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
117(331):2017.11.30・12.1
掲載巻
117
掲載号
331
掲載ページ
83-86
掲載年月日(W3CDTF)
2017
ISSN(掲載誌)
0913-5685
ISSN-L(掲載誌)
0913-5685
出版事項(掲載誌)
東京 : 電子情報通信学会
出版地(国名コード)
JP
本文の言語コード
jpn
件名標目
AlN
サファイア
スパッタ
MOVPE
アニール
Sapphire
Sputtering
Annealing
NDLC
ZN33
対象利用者
一般
レポート番号(雑誌記事)
ED2017-66
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Z16-940
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
028699837
http://id.ndl.go.jp/bib/028699837
整理区分コード
632
もっと見る