スパッタ法AlN基板へのMOVPE法によるホモ成長 (レーザ・量子エレクトロニクス)

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スパッタ法AlN基板へのMOVPE法によるホモ成長

(レーザ・量子エレクトロニクス)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
028702606
資料種別
記事
著者
吉澤 涼ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2017
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 117(333):2017.11.30・12.1
掲載ページ
p.83-86
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
吉澤 涼
林 侑介
三宅 秀人
平松 和政
並列タイトル等
Homoepitaxial growth on sputtered AlN templates by MOVPE
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
117(333):2017.11.30・12.1
掲載巻
117
掲載号
333