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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 竹内 雅耶山口 明啓内海 裕一
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- General-purpose x-ray microfabrication beamline (BL11) constructed at NewSUBARU
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会研究会資料. OQD = The papers of technical meeting on optical and quantum devices, IEE Japan / 光・量子デバイス研究会 [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 2018(22-30):2018.3.28
- 掲載巻
- 2018
- 掲載号
- 22-30