書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 福田 涼正直 花奈子蒋 楠上杉 謙次郎林 侑介肖 世玉三宅 秀人
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Quality improvement and characteristic evaluations of sputter-deposited a-plane AlN on r-plane sapphire
- タイトル(掲載誌)
- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 118(332):2018.11.29・30
- 掲載巻
- 118
- 掲載号
- 332