ZnMgO薄膜のミストCVDにおける原料の比較 (電子ディスプレイ 発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)

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ZnMgO薄膜のミストCVDにおける原料の比較

(電子ディスプレイ 発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)

Call No. (NDL)
Z16-940
Bibliographic ID of National Diet Library
029501452
Material type
記事
Author
渡井 大貴ほか
Publisher
東京 : 電子情報通信学会
Publication date
2019-01
Material Format
Paper
Journal name
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 118(422):2019.1.24・25
Publication Page
p.65-68
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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
記事
Author/Editor
渡井 大貴
大城 巨暉
小野田 翔悟
楠原 穂高
小南 裕子
原 和彦
Alternative Title
Comparison of source materials in mist CVD of ZnMgO thin films
Periodical title
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
No. or year of volume/issue
118(422):2019.1.24・25
Volume
118
Issue
422