4点曲げ試験による単結晶Siウエハの加工面性状評価
デジタルデータあり（Japan Link Center）
すぐに読む
CiNii Research
全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 藤井 達也村上 拓斗呉 勇波野村 光由
- 並列タイトル等
- Evaluation of Machined Surface Texture for Single-crystal Si Wafer by Four-point Bending Tests
- タイトル（掲載誌）
- 実験力学 : Journal of JSEM : Journal of the Japan Society for Experimental Mechanics / 日本実験力学会編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 19(2):2019.6
- 掲載巻
- 19
- 掲載号
- 2
- 掲載ページ
- 131-136