酸化銀分解反応を用いた銀-シリコン接合における界面形成過程 (Mate2019特集号 : 第25回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 松田 朋己伊波 康太本山 啓太佐野 智一廣瀬 明夫
- 並列タイトル等
- Formation Process of the Interface in the Ag/Si Joints by the Decomposition Reaction of Ag₂O
- タイトル（掲載誌）
- スマートプロセス学会誌 = Journal of smart processing
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 8(5):2019.9
- 掲載巻
- 8
- 掲載号
- 5