書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 阿部 星輝高橋 克幸向川 政治高木 浩一行村 建
- 並列タイトル等
- Electrical Characteristics of High-Power Pulsed Sputtering Penning Discharge
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会研究会資料. DEI
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 2020(23-33・35・36):2020.1.24
- 掲載巻
- 2020
- 掲載号
- 23-33・35・36