書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 阿部 星輝高橋 克幸向川 政治高木 浩一行村 建
- 並列タイトル等
- Electrical Characteristics of High-Power Pulsed Sputtering Penning Discharge
- タイトル(掲載誌)
- 電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / [放電・プラズマ・パルスパワー研究会] [編]
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 2019(1-11・13・14):2020.1.24
- 掲載巻
- 2019
- 掲載号
- 1-11・13・14