書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 泥谷 亮太伊藤 隆太山本 世翔神村 勇馬堤井 君元松本 精一郎
- 並列タイトル等
- Synthesis of Boron Nitride Films by Surface-Wave Plasma-Enhanced CVD and Characterization of Their Insulation Properties
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会研究会資料. HV = The papers of technical meeting on high voltage engineering, IEE Japan / 高電圧研究会 [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 2021(1-18):2021.1.22
- 掲載巻
- 2021
- 掲載号
- 1-18