Sputter depth profiling by SIMS: calibration of SIMS depth scale using multi-layer reference materials (Extended abstracts book of the International Workshop for Surface Analysis and Standardization '09 (iSAS-09))

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Sputter depth profiling by SIMS: calibration of SIMS depth scale using multi-layer reference materials(Extended abstracts book of the International Workshop for Surface Analysis and Standardization '09 (iSAS-09))

国立国会図書館請求記号: Z15-B66
国立国会図書館書誌ID: 10226403

資料種別: 記事

著者: K. J. Kimほか

出版者: 東京 : 表面分析研究会

出版年: 2009-03

資料形態: 紙

掲載誌名: Journal of surface analysis / 表面分析研究会編 15(3) 2009.3

掲載ページ: p.229～234

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紙デジタル

資料種別: 記事
タイトル: Sputter depth profiling by SIMS: calibration of SIMS depth scale using multi-layer reference materials
著者・編者: K. J. Kim
J. S. Jang
T. E. Hong
シリーズタイトル: Extended abstracts book of the International Workshop for Surface Analysis and Standardization '09 (iSAS-09)
著者標目: K. J. Kim
J. S. Jang
T. E. Hong
タイトル（掲載誌）: Journal of surface analysis / 表面分析研究会編
巻号年月日等（掲載誌）: 15(3) 2009.3
掲載巻: 15
掲載号: 3
掲載ページ: 229～234
掲載年月日（W3CDTF）: 2009-03
ISSN（掲載誌）: 1341-1756
ISSN-L（掲載誌）: 1341-1756
出版事項（掲載誌）: 東京 : 表面分析研究会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: eng
NDLC: ZM35
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z15-B66
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 10226403
http://id.ndl.go.jp/bib/10226403
整理区分コード: 632

Sputter depth profiling by SIMS: calibration of SIMS depth scale using multi-layer reference materials(Extended abstracts book of the International Workshop for Surface Analysis and Standardization '09 (iSAS-09))

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