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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 堀川 教世春山 義夫島 聡史
- 並列タイトル等
- Fabrication of micro thermal device using LIGA like process
- タイトル（掲載誌）
- 富山県立大学紀要 = Bulletin of Toyama Prefectural University / 富山県立大学 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 19 2009.3
- 掲載巻
- 19
- 掲載ページ
- 24～29
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2009-03