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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 一木 隆範
- シリーズタイトル
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Application of microplasmas to microfabrication technology
- タイトル（掲載誌）
- 材料の科学と工学 : 日本材料科学会誌
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 47(3) (通号 267) 2010
- 掲載巻
- 47
- 掲載号
- 3