Non-contact wafer fabrication process using gas cluster ion beams

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Non-contact wafer fabrication process using gas cluster ion beams

国立国会図書館請求記号
Z74-E130
国立国会図書館書誌ID
10917864
資料種別
記事
著者
豊田 紀章ほか
出版者
姫路 : 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室
出版年
2009
資料形態
掲載誌名
兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo 2009年度
掲載ページ
p.82~84
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
豊田 紀章
磯貝 宏道
山田 公
タイトル(掲載誌)
兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo
巻号年月日等(掲載誌)
2009年度
掲載巻
2009年度
掲載ページ
82~84
掲載年月日(W3CDTF)
2009
出版事項(掲載誌)
姫路 : 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室