無変形冷凍ピンチャックの開発(第2報)ピン上への冷凍液塗布法と塗布特性
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 宇根 篤暢小川 裕司吉冨 健一郎 他
- 並列タイトル等
- Development of a nondeforming freezing pin chuck (2nd report) Application method and characteristics of freezing liquid on pins
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 77(10) (通号 922) 2011.10
- 掲載巻
- 77
- 掲載号
- 10
- 掲載通号
- 922