MAS構造におけるAl2O3膜の膜厚方向の物性特性の変化の測定 (半導体デバイス特集-6-)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 小宮 祥男垂井 康夫藤代 敏明
- シリーズタイトル
- タイトル（掲載誌）
- 電子技術総合研究所彙報 / 電子技術総合研究所 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 40(4・5) 1976.05
- 掲載巻
- 40
- 掲載号
- 4・5
- 掲載ページ
- p298～301