水晶振動子を用いた絶縁物薄膜のスパタリングイールド測定 (第21回真空に関する連合講演会プロシーディングス)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 山下 昌哉馬場 茂金原 粲
- シリーズタイトル
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 24(4) 1981.04
- 掲載巻
- 24
- 掲載号
- 4
- 掲載ページ
- p227～229