全アルミニウム合金製小型スパッタ装置(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシーディングス--昭和59年10月29日～31日)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 山川 洋幸 他
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 28(5) 1985.05
- 掲載巻
- 28
- 掲載号
- 5
- 掲載ページ
- p406～411