半導体超薄膜の成長と物性評価
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- タイトル
- 著者・編者
- 井上 正崇矢野 満明岩井 嘉男
- タイトル（掲載誌）
- 中研所報 / 大阪工大摂南大学中央研究所 [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 21(2) 1988
- 掲載巻
- 21
- 掲載号
- 2
- 掲載ページ
- p198～217
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1988