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2次イオン質量分析法を用いた窒化ケイ素-金属接合界面の分析

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2次イオン質量分析法を用いた窒化ケイ素-金属接合界面の分析

国立国会図書館請求記号
Z17-9
国立国会図書館書誌ID
3258813
資料種別
記事
著者
志智 雄之ほか
出版者
東京 : 日本分析化学会
出版年
1989-10
資料形態
デジタル
掲載誌名
分析化学 / 日本分析化学会 編 38(10) 1989.10
掲載ページ
p.p505~509
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資料詳細

要約等:

SIMSを用いて窒化ケイ素と金属との接合界面の元素及び生成物の深さ方向分布分析及び三次元分布分析を行い,以下の知見を得た.(1)窒化ケイ素と金属との接合界面に存在する反応生成物層が二層構造になっているという,これまでの分析電子顕微鏡及びX線光電子分光分析結果が確認できた.(2)ろう材成分の一つである...

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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
志智 雄之
松清 健二
松長 正治
タイトル(掲載誌)
分析化学 / 日本分析化学会 編
巻号年月日等(掲載誌)
38(10) 1989.10
掲載巻
38
掲載号
10
掲載ページ
p505~509
掲載年月日(W3CDTF)
1989-10