超微細加工プロセス技術とGHz帯弾性表面波変換器
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 目黒 敏靖長 康雄山之内 和彦
- タイトル（掲載誌）
- 日本音響学会誌
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 51(10) 1995.10
- 掲載巻
- 51
- 掲載号
- 10
- 掲載ページ
- p769～773
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1995-10