〔工業技術院電子技術総合研究所〕研究設備紹介-17-レーザによる圧力計測のための極高真空装置
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 国分 清秀清水 肇一村 信吾
- タイトル（掲載誌）
- 電子技術総合研究所彙報 / 電子技術総合研究所 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 54(12) 1990.12
- 掲載巻
- 54
- 掲載号
- 12
- 掲載ページ
- p1507～1512
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1990-12