ACリニアモータと転がり案内を用いたナノメータ位置決め-1-システムの構成と粗・微動制御
デジタルデータあり（Japan Link Center）
すぐに読む
CiNii Research
全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 二見 茂古谷 彰浩
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 57(3) 1991.03
- 掲載巻
- 57
- 掲載号
- 3
- 掲載ページ
- p556～561
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1991-03