窒化チタン膜生成用真空アーク蒸着装置における圧力変化と窒素固定量
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 滝川 浩史井上 友喜榊原 建樹
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 116(5) 1996.04
- 掲載巻
- 116
- 掲載号
- 5
- 掲載ページ
- 424～429
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1996-04