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雑誌分析化学
巻号45(1) (通号 504)-45(6) (通号 509) 19960100-19960600
記事粒子線検出用二次元固...

粒子線検出用二次元固体撮像素子 (特集:質量分析法の応用技術 ; 質量分析装置・手法の開発・改良)

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粒子線検出用二次元固体撮像素子(特集:質量分析法の応用技術 ; 質量分析装置・手法の開発・改良)

国立国会図書館請求記号
Z17-9
国立国会図書館書誌ID
3966868
資料種別
記事
著者
圦本 尚義ほか
出版者
東京 : 日本分析化学会
出版年
1996-06
資料形態
デジタル
掲載誌名
分析化学 / 日本分析化学会 編 45(6) 1996.06
掲載ページ
p.493～500
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資料詳細

要約等：

数keVオーダーのエネルギーを持つイオン粒子や電子線は,固体の表面分析や表面改質のためのプローブや信号として,よく用いられる粒子線である.そのため,これらの二次元分布を定量的に測定するためにいろいろな検出システムが考案されてきた.しかし,粒子線に対する検出器として,光学分野で画期的に成長した電荷結合...

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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
タイトル
粒子線検出用二次元固体撮像素子
著者・編者
圦本 尚義
松本 一哉
シリーズタイトル
特集:質量分析法の応用技術 ; 質量分析装置・手法の開発・改良
著者標目
圦本 尚義
松本 一哉
タイトル（掲載誌）
分析化学 / 日本分析化学会 編
巻号年月日等（掲載誌）
45(6) 1996.06
掲載巻
45
掲載号
6
掲載ページ
493～500