電解法によるECD用イリジウム酸化物薄膜の作製 (小特集/湿式法による化合物薄膜の作製・構造と物性)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 吉野 隆子
- シリーズタイトル
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- 表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 49(1) 1998.01
- 掲載巻
- 49
- 掲載号
- 1
- 掲載ページ
- 20～24