Al3Hf金属間化合物の陽極酸化膜による高耐熱,高信頼性薄膜キャパシタの検討

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Al3Hf金属間化合物の陽極酸化膜による高耐熱,高信頼性薄膜キャパシタの検討

国立国会図書館請求記号
Z16-1852
国立国会図書館書誌ID
4528448
資料種別
記事
著者
尾関 雅彦ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクス ソサイエティ
出版年
1998-07
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2 / 電子情報通信学会 編 81(7) 1998.07
掲載ページ
p.619~627
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
尾関 雅彦
山根 美佐雄
佐々木 克孝
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2 / 電子情報通信学会 編
巻号年月日等(掲載誌)
81(7) 1998.07
掲載巻
81
掲載号
7
掲載ページ
619~627
掲載年月日(W3CDTF)
1998-07