単一溶液原料を用いた化学気相成長法によるMn添加(Ba,Sr)TiO3薄膜の合成
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 竹島 裕田中 克彦坂部 行雄
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 42(3) 1999.03
- 掲載巻
- 42
- 掲載号
- 3
- 掲載ページ
- 368～371
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1999-03