ヘリウムプラズマ照射下における基板近傍のヘリウム原子励起温度測定
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 矢北 真一郎広畑 優子日野 友明
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 42(3) 1999.03
- 掲載巻
- 42
- 掲載号
- 3
- 掲載ページ
- 392～395
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1999-03