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雑誌表面科学
巻号20(1)-20(6) 19990100-19990600
記事塩素吸着シリコン表面...

塩素吸着シリコン表面のレーザー励起エッチング (特集 真空紫外光源とその応用)

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塩素吸着シリコン表面のレーザー励起エッチング(特集 真空紫外光源とその応用)

国立国会図書館請求記号
Z15-379
国立国会図書館書誌ID
4757713
資料種別
記事
著者
前田 康二ほか
出版者
東京 : 日本表面科学会
出版年
1999-06
資料形態
デジタル
掲載誌名
表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編 20(6) 1999.06
掲載ページ
p.393～400
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資料詳細

要約等：

Measurements of excitation spectra of photoetching of chlorinated Si(111)7×7 surfaces stimulated by ultraviolet nanosecond pulse laser light revealed ...

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デジタル

資料種別
記事
タイトル
塩素吸着シリコン表面のレーザー励起エッチング
著者・編者
前田 康二
天清 宗山
中村 芳明 他
シリーズタイトル
特集 真空紫外光源とその応用
著者標目
前田 康二
天清 宗山
中村 芳明
タイトル（掲載誌）
表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編
巻号年月日等（掲載誌）
20(6) 1999.06
掲載巻
20
掲載号
6
掲載ページ
393～400